제조사 : FEMTO SCIENCE
모델명 : COVANCE
내 용 :
| Process Mode | PE / RIE / Dual |
|---|---|
| Chamber | W.200 x D.220 x H.160 (mm) |
| Generator | (RF)13.56MHz Max. 300W |
| MFC | Max. 200 sccm |
| Gauge Pressure | Atm ~ 5 x 10-4 Torr |
| Operation | Manual & Automatic |
| Geometry | W.600 x D.730 x H.750 (mm) |
상 태 : 최상급
가 격 : 1500만원
문의전화 : 010-2264-8356(안명수 부장)
